自工業(yè)化以來，尤其是國防軍工行業(yè)的需要，要求零件具備高度互換性，對尺寸 位置和形狀公差的要求，推動力幾何量計量技術(shù)的發(fā)展。

美國Brown&Sharpe公司在1875年制造的千分尺

隨著工業(yè)現(xiàn)代化進(jìn)程的發(fā)展，伴隨著眾多制造業(yè)如汽車 機(jī)床及模具工業(yè)的大規(guī)模生產(chǎn)的需要，促進(jìn)和推動了三坐標(biāo)測量儀(三次元測量機(jī))技術(shù)的發(fā)展。

三坐標(biāo)是檢測工業(yè)零件的一種精密測量的方法，廣泛應(yīng)用于機(jī)械制造、工業(yè)制造的重要測量的方法。

世界上第一臺現(xiàn)代意義上的三坐標(biāo)測量機(jī)：1959年，法國巴黎國際機(jī)床博覽會上，蘇格蘭Ferranti公司展出了第一臺坐標(biāo)測量機(jī)。該測量機(jī)為直角坐標(biāo)測量機(jī)，在×軸和y軸上設(shè)置了2個可移動的導(dǎo)軌和讀數(shù)裝置，并在z向上放置位移傳感器，測量精度為0.001inch，自此，坐標(biāo)測量機(jī)將測量技術(shù)革命性地從傳統(tǒng)的比較式測量模式帶入空間點坐標(biāo)測量模式。

世界上第一臺現(xiàn)代意義上的三坐標(biāo)測量機(jī)

世界上第一臺龍門式測量機(jī): 1962年，作為菲亞特(FIAT)汽車公司質(zhì)量控制工程師的Fraorinco Sartorio，在意大利都靈創(chuàng)建了DEA公司，成為世界上第一家專業(yè)制造坐標(biāo)測量機(jī)設(shè)備的公司。

DEA公司產(chǎn)ALPHA：世界上第一臺龍門式測量機(jī)

世界上第一個觸發(fā)測頭: 1972年，但是身為勞斯萊斯(Rolls-Royce)公司副總設(shè)計師的David McMurtry為了幫助解決協(xié)和號飛機(jī)發(fā)動機(jī)上直徑6.35mm復(fù)雜形狀的油管直徑，發(fā)明了世界上第一個接觸式觸發(fā)測頭。

世界上第一個觸發(fā)測頭

第一臺計算器數(shù)字控制（CNC）的三坐標(biāo): 1973年，德國Zeiss公司推出了第一臺計算器數(shù)字控制（CNC）的三坐標(biāo)測量機(jī)UMM 500，該測量機(jī)采用HP9810計算器，并配置了接觸式掃描測頭，三軸測量精度達(dá)到0.5ym.CNC數(shù)控系統(tǒng)提高了坐標(biāo)測量技術(shù)的自動化水平奠定了快速掃描測量的基礎(chǔ)！提高了測量效率和精度，并增強(qiáng)了坐標(biāo)測量機(jī)的功能。

德國Zeiss產(chǎn) UMM 500

第一次提出軟件補(bǔ)償誤差技術(shù): 1977年，R.Hocken等在MooreN.5坐標(biāo)測量機(jī)上實現(xiàn)了誤差的軟件補(bǔ)償，并為此獲得了國際生產(chǎn)工程科學(xué)院的泰勤獎?wù)隆?/span>1985年天津大學(xué)精密儀器與光電子工程學(xué)院張國雄教授等對坐標(biāo)測量機(jī)進(jìn)行了軟件誤差補(bǔ)償，將精度從20um提高到2um。此后，各種軟件誤差補(bǔ)償技術(shù)迅速發(fā)展，如熱誤差補(bǔ)償、動態(tài)誤差補(bǔ)償?shù)龋@得廣泛應(yīng)用。

第一臺關(guān)節(jié)式坐標(biāo)測量機(jī): 1986年，日本小坂研究所的小美濃武久等研制了關(guān)節(jié)式坐標(biāo)測量機(jī)。關(guān)節(jié)式坐標(biāo)測量機(jī)由多個關(guān)節(jié)組成，安裝有探測系統(tǒng)的測量臂可由人奉引對零件表面進(jìn)行測量。安裝在關(guān)節(jié)上的角度傳感器獲得轉(zhuǎn)動角度，結(jié)合臂長可計算出測量點的坐標(biāo)值。其主要優(yōu)點為量程大、體積小、質(zhì)量輕、靈活方便、便于現(xiàn)場測量。

關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測量機(jī)

第一臺納米坐標(biāo)測量機(jī): 1999年，英國國家物理實驗室（NPL）基于商用測量機(jī)PMM 12106研制了一臺小量程測量機(jī)。該測量機(jī)的空間量程為50mmx50mmx50mm，測量不確定度為50nm。納米三坐標(biāo)測量機(jī)開創(chuàng)了坐標(biāo)測量精度新紀(jì)元，從而為微型制造奠定了堅定的技術(shù)基礎(chǔ)。

第一臺全自主知識產(chǎn)權(quán)國產(chǎn)三坐標(biāo):2018年，由清華大學(xué)和深圳市政府聯(lián)合投資建立的深圳力合精密裝備科技有限公司生產(chǎn)的第一臺高精度三坐標(biāo)測量機(jī)交付客戶使用，此三坐標(biāo)核心零部件包括測座，測頭，電控，等全部自主研發(fā)生產(chǎn)。標(biāo)志著國內(nèi)在坐標(biāo)測量關(guān)鍵技術(shù)上打破國外壟斷取得了突破性進(jìn)展。